金属塩と表面凹凸

金属塩の種類とは、その塩をめっき液に溶かしたときに解離したアニオン種(陰イオン)の違い。
アニオンの種類が過電圧や浴の安定性、析出効率、めっき膜の表面形態などを変化させる。
アニオン種は電流効率と表面凹凸の形(大きさではない)を決定する(経験&計測結果)
表面凹凸
  • 膜厚の増加と共に表面凹凸は大きくなる(浴の種類は問わず)
  • 表面凹凸の形は浴の種類で変わる
  • 塩化物浴は激しい表面凹凸、硫酸浴は比較的平滑だが電流効率は低く、ピットができやすい
  • 故に硫酸浴に塩化物を少し混合して電流効率をある程度よくする=ワット浴
  • スルファミン酸浴は電流効率もよく、表面形態も比較的平滑
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